可垂直上下移动
特殊恒定负载的弹簧探针
恒定的探针间距
可保持极大程度的重复性测试
探头方便更换
探针台顶部可调整Z轴移动
稳固的连接线在探针台后面
转接头可选择:Banana/ BNC/ Triaxial Female
卡盘可快速移动
可以配合加热吸盘使用
卡盘尺寸可以选择:6英寸、8英寸、12英寸
气动的SR-4可用开关控制升降
应用:
表面电阻率测试
薄膜切片电阻率测试
半导体掺杂特性的测试
金属层厚度的测试
测试半导体类型:P型/N型
电压/电流的测试
详细说明:
卡盘尺寸可选择:6英寸、8英寸、12英寸;材料;特氟龙
探针升降长度:10毫米
探针台Z轴升降精度为:1微米
探针材质:碳化钨、铍铜合金
探针距离:40mil、50mil、62.5mil
弹簧探针力度:45grams、85grams、180grams
探针直径:40.6微米
规格:
尺寸:220mm长x420mm宽x250mm高
重量:20Kg