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开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)

单点开尔文探针

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超高真空开尔文探针

环境控制开尔文探针

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