如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量，这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢，以获取最佳均温性，避免重金属沾污
7. 配备温度控制器，可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置，保证热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降
规格：
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢，以获取最佳均温性，避免重金属沾污
7. 配备温度控制器，可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置，保证热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降
规格：
| 卡盘尺寸 | 3”, 4'', 6'', 8'', 12” dia. x 1'' Thick |
| 卡盘平坦度 | +/-10μm |
| 温度范围 | RT-200ﾟC |
| 温度分辨率 | 0.1ﾟC |
| 温度准确度 | 100ﾟC,±0.5ﾟC; 200ﾟC,±1ﾟC; 300ﾟC,±2ﾟC; 400ﾟC,±3ﾟC |
| 从25ﾟC加热到 4英寸卡盘所需时间(典型值) |
100ﾟC, 150ﾟC, 200ﾟC 2:00 3:30 5:00 |
| 4英寸卡盘所需时间 2:00 、 3:30 、5:00 | |
| 加热驱动方式 | 直流 |
| 材料 | 不锈钢 |
| 电源 | 110 VAC, 60Hz 220 VAC, 50Hz |
| 加热功率 | 4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W |
| 真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min |
| 水流量 | 20 升/分钟 |
| 温度控制器 尺寸 重量 |
350mmW x 300mmD x 150mmH 20 kg |
