规格
电压：AC220V
流量：7L/min
真空度：-60kPa
质量：0.7kg
功能
提供真空动力源。
配合卡盘（CHUCK）上的真空吸附孔来固定晶圆或器件样品
配合真空吸附型探针座，将探针座固定在平台上
特点
无油静音，特别适合实验室和洁净室使用
7L/min的流量，可24小时无间断运转
电压：AC220V
流量：7L/min
真空度：-60kPa
质量：0.7kg
功能
提供真空动力源。
配合卡盘（CHUCK）上的真空吸附孔来固定晶圆或器件样品
配合真空吸附型探针座，将探针座固定在平台上
特点
无油静音，特别适合实验室和洁净室使用
7L/min的流量，可24小时无间断运转
