P300A是集成高温装置、单点接地、全封闭测试环境等优良特性的半自动测试探针台。并配有超大滑台,P300A的封闭环境,保证探针台的高可靠性和高精度。显微镜支撑为桥式结构,支持所有高分辨率、不同工作距的显微镜,包括A-Zoom显微镜、金相显微镜、体视显微镜、视频显微镜。测试过程中,卡盘Z轴固定不动,显微镜能够自动聚焦,操作更方便、准确。探针座放置平台驱动器能够在大的接触区域上分配驱动力提高测试精度并延长使用寿命。不锈钢探针座放置平台兼容磁力或真空吸附的探针座,并提供长时间的吸附力。紧凑的基座结构提高了台体的稳定性,并节省实验室的面积。探针台正面的电动控制装置允许在不需要可编程操作时对其进行简单的手动控制。摇杆和微触控制器都可控制滑台、探针台、显微镜在X、Y、Z的移动以及角度调节。触摸屏显示器可简化探针台的设置。P300A接口支持USB、GPIB、RS-232、TCP/IP连接。
P300A使用Micromanipulator具有革命性的探针台控制软件netProbe。导航,视频,内存列表,晶圆Mapping和设置模块提供了全面的功能。更包含丰富的高级功能,如视频定位和自对准技术,Die内部和Die之间的步进,以及模拟其他探针台的接口指令。
• 导航模块:提供滑台,探针台,角度调节和显微镜的完整的导航控制功能。
• 晶圆定位模块:提供晶圆定位的编程、步进和重复功能。提供了定位的完整编辑功能,包括坐标方向的选择。晶圆测试的步进由软件或外部触发脉冲触发。对于小的Die,Zoom窗口还显示其周围的Die。
• 存储模块:包括查找、存储功能。存储列表只需通过简单的点击或编程操作实现。与晶圆定位模块实现Die之间、Die内部的步进技术。
• 模式识别功能:可识别样品图形,并在每次编程移动后对准样品图形。拥有先进的边缘检测,不受对比度、光亮度的影响。
• 高分辨率触摸屏同样实现对探针台的控制。触摸屏可以使用导航和设置功能。屏幕上的键盘能够简化数据输入。