4060可增配探针卡夹,热卡盘,操纵器,独特的探头支架,隔振台,不透光罩(LTE)和相机系统等附件选择,可保证实现您特定的应用需求。台体配置选项包括:一个独立的显微镜升降和锁定杆组件,可调节的台面升降装置,显微镜升降延迟以及支持低温探测的集成暗干燥腔。
4060卓越品质:
1. 手动丝杠控制台体升降,寿命长,稳定,快速
2. 提供丝杠控制探针卡定位
3. 丝杠驱动高分辨手动角度控制卡盘
4. 高稳定性桥架支撑的高分辨率复合显微镜。 立体变焦显微镜可选。 包括快速升降平台。 可调式显微镜升降延迟可选。 独立的显微镜倾斜和锁定标准。
5. 符合人体工程学的紧凑设计提高了使用的便利性,同时增加了稳定性
6. 紧凑设计更省空间
7. 大面积铝制平台可放置更多探针座
8. 6英寸(150毫米)或8英寸(200毫米)环境真空吸盘,覆盖完整的晶圆行程
9. 可选配冷/热卡盘,包括内部电缆/软管处理组件,便于在探针台后部和集成的黑暗/干燥环境
尺寸:
所占空间(宽x深):22.75” x 23.35” (57.7x59.3cm).
台体宽度,深度,高度:28.5” x 26.75” x 21.5” (72.3x67.9x54.6cm).
重量:86.6kg