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低温装置

特点

实现液氮77K(-196 ℃)到﹢200℃的温度测试

加热卡盘

特点

采用低噪声直流驱动、配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温、绝缘套件用于低电流(pA)测试

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