通常,参数测试系统将电流或电压输入被测器件(DUT),然后测量该器件对于此输入信号的响应。这些信号的路径为:从测试仪通过电缆束至测试头,再通过测试头至探针卡,然后通过探针至芯片上的焊点,到达被测器件,并最后沿原路径返回测试仪器。
无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其最核心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。
芯片测试是IC制造业里不可缺少的一个重要环节,探针卡是芯片测试必需的精密工具,探针卡状态的好坏直接影响着测试的质量。本文简单介绍探针卡的常见故障及对测试造成的影响并讨论探针卡的维护方法。